Películas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD
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ژورنال
عنوان ژورنال: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio
سال: 2000
ISSN: 2173-0431,0366-3175
DOI: 10.3989/cyv.2000.v39.i4.797